蛍光X線式膜厚計



FISCHERSCOPE® XAN®215


  • 貴金属鑑定の全自動化を実現
  • 非破壊式で材料分析と膜厚測定を行うための頑丈で操作が簡単な蛍光X線分析器
  • 貴金属買い取り業貴金属鑑定における (金、プラチナ、ロジウムメッキの純度・厚み測定)
  • X線照射方向が下から上のため、サンプルのポジショニングが極めて簡単
  • WinFTM評価ソフトウエア付き
  • 特別な訓練なしで使用可能な安全設計
 

 

製品説明

精度:1‰以下(Auに対して)
コリメータ:約1mm の円形 (2mm オプション)
フィルタ:1種類で固定
X線チューブ:標準タイプ、W電極、ガラス窓
X線検出器:高分解能シリコンPINディテクター (PIN)
測定元素:塩素(Cl=17)~ウラン(U=92)、24元素同時測定可能
ビデオ画像:カラーCCD、クロスヘア付き、デジタルズーム倍率 1~4X
外寸・重量:W403 x D588 x H365mm、約45Kg
測定チャンバ内寸:W310 x D320 x H90mm

代表的な応用分野
装飾品産業や時計工業貴金属鑑定・貴金属買取
多層メッキの膜厚測定および下地の組成分析

 

 


FISCHERSCOPE® XAN®250


  • 大型サンプル、手動式XYテーブル付き
  • 非破壊式で材料分析と膜厚測定を行うための頑丈な蛍光X線測定器
  • 測定方向が下から上なので、サンプルのポジショニングが極めて簡単
  • 品質管理、出荷検査などに便利
 

 

製品説明

精度:1‰以下(Auに対して)
コリメータ:4種類(標準セット:Φ0.2mm, Φ0.6mm, Φ1mm, Φ2mm )
フィルタ:6種類
X線管:マイクロフォーカスタングステンチューブ、ベリリウム窓付き、10kV, 30kV, 50kV
X線検出器:シリコンドリフト検出器(SDD)

最小測定面積:約0.1mmの円形
外形寸法・重量:W403 x D588 x H365mm, 約45Kg
測定チャンバ内寸:W310 x D320 x *H90mm
  *内寸H174mmタイプについては弊社までご連絡ください。
XYステージ:固定 (手動XYステージの操作で小さな部品に対する位置決めが可能なタイプもございます。詳しくはお問い合わせください。)

代表的な応用分野
基板産業におけるAu/Ni/Cu/PCBやSn/Cu/PCBなどの多層膜測定
電子工業における非常に小さなプラグや接点の皮膜
自動車部品などでのCr/Ni/Cu/ABSのような装飾的皮膜
小さな量産品(ボルトやナット)の防食皮膜のZn/FeやZnNi/Feなどの電気めっき皮膜
装飾品産業や時計工業
電気めっき浴の金属成分の測定

 

 


FISCHERSCOPE® XDAL®


  • 電動式・汎用モデル
  • 未知の材料分析と膜厚の自動測定を行うための、プログラマブル標準XYステージとZ軸を備えた蛍光X線測定器
 

 

製品説明

半導体検出管(PIN)により未知の素材分析(Cl17より)と薄膜測定の応用範囲が大きい
優れたSN比:マイクロフォーカス管と自動選択コリメーターによって小さい測定スポット(min.100μmΦ)が可能
C形スリット入りの大型で広々とした測定チャンバ(内高140mmH) 高速でプログラミング可能なXYステージ

代表的な応用分野
皮膜および合金(薄いコーティングや低濃度も含む)の材料分析
商品受入れ検査、製造監視、研究開発
電子産業:コネクターや接点部品
金、装飾品産業および時計産業
基板製造における僅か数ナノメートルの薄いAuやPd皮膜の測定
微量分析
高信頼性航空電子部品でのPb(>3%) の測定
硬質材料皮膜の分析
 

 


FISCHERSCOPE® XDV®-SDD


  • 電動ステージでの最上位機種
  • 万能な使用特性を持つプレミアムモデル
  • 極めて低い検出限界と高い繰返し精度
  • 高速のプログラミング可能なXYZテージによる測定自動化
  • ビデオカメラ・レーザーマーカー付き
 

 

製品説明

非常に薄い皮膜の自動測定と微量分析のための、プログラミング可能な高精度XYステージとZ軸を備えた、極めて高度な要求に 対応する蛍光X線測定器
大気中測定用としては、最上位機種で、ベリリウム窓のマイクロフォーカスX線源、高感度・高分解能なX線検出管SDD
プライマリーフィルター6種、アパチャー4種( 2-3mmΦ ) 自動交換測定スポットサイズだけでなくスペクトル組成についても、最大限フレキシブルな励起
ケイ素ドリフト検出器(SDD) によって、> 100 kcpsという非常に高い強度も、エネルギー放出でのロスも無く処理
大型でアクセス性の良い測定チャンバ(Cスロットなしのクローズドタイプ)

代表的な応用分野
電子産業や半導体産業における非常に薄いコーティングのチェック
RoHS、玩具規格、包装規格に従った有害物質の検証のような微量分析
最高度の精度での金や貴金属の分析
太陽電池産業
NiP皮膜の厚さと組成の測定
 

 


FISCHERSCOPE® XDV®


  • 微小部測定 (∅20μm~、オプション10μm)
 

 

製品説明

極めて小さい部品や構造体における膜厚および皮膜組成の自動測定および分析のための、多重毛管式X線光学系(ポリキャピラリ) を備えた蛍光X線測定器。マイクロフォーカスX線管・高感度検出管SDD ・プライマリーフィルター4種電動式。(注)真空中・特殊雰囲気中での測定タイプについては弊社までご相談ください。

微小分析向けに最適化された測定器
X線光学系に応じて大きさが100μmまたはそれ未満の構造体を分析できます
微小部にX線を集光しているので強度が非常に高く精度に優れています
薄膜について<1nmの測定不確実性が可能です
平らかまたはほぼ平らなサンプルにのみ適します
C形スリット入りの大型で広々とした測定チャンバ (大型サンプルの微小部分の測定可能)
高速プログラミング可能なXYステージによる測定自動化(アレイ測定)

代表的な応用分野
基板、リードフレームおよびウェハーにおける皮膜系の測定
超小型部品や細いワイヤにおける皮膜系の測定
小さい構造体や小型部品に関する材料分析