膜厚計のアプリケーション

金属表面の薄い油膜厚の測定

密封放射線源を使用して安全に油膜を測定・プローブ内に線源を組み込んだベーター線後方散乱式・放射性同位元素C14を使用した場合は1~11µmの油膜が測定可能


 

有機膜厚の測定 (例:オイルやグリースの膜厚など) Z15NG-TCプローブを使用:

 

ベーター線後方散乱式のハンドプローブZ15NG-TCを使用 (空気層による減衰の影響を自動補正する温度センサーが組み込まれています。)
ISO 3543, ASTM B567準拠の方式で、密閉容器に入った放射性同位元素の放射線源から照射されたβ線(ベーター線)を、膜と基板に照射して線源側に反射された電子の数をガイガーミュラー計数管ではかります。この方式は基板と膜が元素番号で4番以上の違いがあるときに使用できます。
金属板(Cu, Ni, Fe, Al, Mo, Ag, Auなど)上の油膜厚測定の場合は、放射性同位元素C14を使用したベーター線発生器を使用すると、1~11µmの油膜が測定できます。
(放射線の使用は安全管理が面倒な反面、β線の実態が質量のある電子であるためX線よりは減衰しやすく、より高いゲインが取れるため薄物の測定に向いています。
⇒使用装置詳細:FISCHERSCOPE MMS PC2(BETASCOPE)

 


β線後方散乱式膜厚計の測定原理

物質にベータ線を照射すると一部は吸収され、一部は透過されます。また一部は後方に散乱し、その線量はその物質の厚みと核外電子数(電子番号)によって異なります。線量の増加が検出できなくなる飽和厚に達するまでは、厚みが増えると後方散乱量が増加するので、下地の後方散乱量と皮膜のそれを比較することで厚みを測定することができます。 従って、下地と皮膜の原子番号の差が大きいほど測定精度は上がり、原子番号の差が小さいほど測定精度は低下します。
ISO 3543, ASTM B567準拠の方式で、密閉容器に入った放射性同位元素の放射線源から照射されたβ線(ベーター線)を、膜と基板に照射して線源側に反射された電子の数をガイガーミュラー計数管ではかる。この方式は基板と膜が元素番号で4番以上の違いがあるときに使用できます。
放射線の使用は安全管理が面倒な反面、β線の実態が質量のある電子であるためX線よりは減衰しやすく、より高いゲインが取れるため薄物の測定に向いている。線源にはPm147、Tl204、Sr90、C14があり1~800μmの厚さレンジの測定となります。